Östling, M.; Gunnar Malm, B.; von Haartman, M.; H ̊allstedt J.; Zhang, Z.; Hellström, P.-E.; Zhang, S. Challenges for 10 Nm MOSFET Process Integration. JTIT 2007, 28 (2), 25-32. https://doi.org/10.26636/jtit.2007.2.805.